旧日立製作所系の半導体製造装置メーカー、KOKUSAI ELECTRIC(東京都千代田区)は25日、シンガポールの半導体製造装置メーカー、ASMPTと半導体パッケージ技術のハイブリッドボンディング(異なる半導体チップやウエハーを直接接合する技術)やTCBボンディング(半導体チップを基板に実装する際に熱と圧力を加えて電極を接合する技術)に関する共同開発契約を締結したと発表した。
同契約により、KOKUSAIは自社が強みを持つ高度な薄膜形成技術とASMPTの高精度ボンディング技術を活用し、複数の半導体チップを組み合わせる半導体2.5と3D(次元)パッケージ分野で最適なソリューションの開発を目指す。同分野は次世代の高性能コンピューティングや人工知能(AI)での利用が期待されている。
KOKUSAIの取締役専務執行役員、柳川秀宏氏は、「当社とASMPTの技術を統合することで、最先端の半導体パッケージングプロセスで重要な課題を解決し、ハイブリッドボンディングやTCBボンディングでの新たなベンチマーク(基準)の確立を目指す」と話した。
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